Kara Behlül Bey Camii, kesin bir inşa kitabesi bulunmamakla birlikte kaynaklarda aktarıldığı üzere, 16. yüzyılın ikinci yarısında, İskender Paşa’nın valiliği (1561–1575) döneminde Silvan’ın yöneticisi konumundaki Kara Behlül Bey tarafından yaptırılmıştır. Caminin minaresi ise daha geç bir tarihte, 1899–1900 yıllarında inşa edilmiştir.

Yapı kare planlı olup merkezi bir şema üzerine oturtulmuştur. Üst örtü, çokgen kasnaklı piramidal külahlı bir kubbe ile sağlanmıştır. İç mekânda sekizgen bir geçiş bölgesi vasıtasıyla kubbeye ulaşılır; bu düzen, Akkoyunlu mimarisiyle benzerlikler taşır. Son cemaat yeri beş bölümlü olup dört sütunun taşıdığı sivri kemerlerle düzenlenmiştir. Caminin batı ve kuzey yönlerinde iki kapısı bulunur; batıdaki cümle kapısı derin, sivri kemerli bir niş içine alınmış, sade bir kuruluş göstermiştir. Kuzeydoğu köşesinde yer alan minare kare kaideli, silindirik gövdeli ve tek şerefelidir; şerefe altında üç sıra mukarnas kuşağı dikkat çekmektedir. Avlunun ortasında çok cepheli, üstü ahşap çatılı bir şadırvan yer alır.

Malzeme olarak düzgün kesme taş kullanılmış, saçak hizasında konsol dizileriyle bütünlük sağlanmıştır. Avluda üç yönde çeşitli mekânlar bulunmaktadır. Doğu tarafındaki yuvarlak kemerli açıklıkların gerisinde medrese odalarının bulunduğu kabul edilmekte, ancak bu birimlerin özgünlüklerini 1969’daki onarımlarda kaybettikleri anlaşılmaktadır. Günümüzde bu mekânların bir kısmı Kur’an eğitimi için kullanılmaktadır.

İç mekân oldukça sadedir. Mihrap dikdörtgen kuruluşlu olup çokgen formlu niş, mukarnas kavsaralıdır. Kavsara on sıralı mukarnas dizileriyle bezenmiştir. Mihrap üç yönden mukarnaslı ve geometrik bordürlerle çevrilidir. Minber taş malzemeden yapılmış, barok üsluba yakın süslemeleri nedeniyle yapıya sonradan eklendiği anlaşılmaktadır. Kubbe göbeğinde 1909 tarihli kalem işi süslemeler bulunur; geometrik desenler, yazı kuşakları ve bitkisel motifler kompozisyonu tamamlamaktadır. İç mekân aydınlatması iki kademeli pencerelerle sağlanmıştır; alt kademede dikdörtgen açıklıklar, üst kademede sekizgene geçiş kemerlerinde yuvarlak kemerli pencereler yer almaktadır.

Yapıda farklı dönemlerde onarımlar yapılmıştır. İlk önemli müdahale 1899–1900 yıllarında minarenin inşası sırasında gerçekleşmiştir. 1909 tarihli kubbe kitabesi, iç mekânda bir tadilatın yapıldığını göstermektedir. 20. yüzyılda daha kapsamlı bir restorasyon uygulanmış, 1969’da avlu ve çevresindeki birimler yeniden inşa edilmiştir. Son olarak 2008’de Vakıflar Bölge Müdürlüğü tarafından bir onarım gerçekleştirilmiştir.

Bugün Kara Behlül Bey Camii, geçirdiği çeşitli restorasyonlara rağmen mimarî karakterini korumakta; özellikle kubbe kuruluşu, son cemaat yeri düzeni, mukarnaslı mihrap süslemeleri ve kalem işleriyle Akkoyunlu etkilerini yansıtan özgün bir yapı olarak varlığını sürdürmektedir.